在当今世界,衡量一个半导体工厂的绩效不仅要看其晶圆产量和良品率,还要看它如何高效、可持续地利用自然资源,以及如何有效地减少生产对周边环境的影响。

新加坡是人口最稠密的小岛屿国家之一,水和其他自然资源供应有限。GlobalFoundries (GF) 长期以来一直在新加坡开展业务,得益于该国技术精湛、敬业的员工队伍、政府前瞻性的政策、优秀的大学和优越的地理位置。得益于这些优势,以及新加坡 GF 世界一流的团队和运营业绩,GF 正在新加坡园区进行大规模扩建。2021年7月,我们的扩建工程破土动工,一年后,第一批生产工具搬进了新大楼。

新扩建的工厂将是 GF 在新加坡最先进的半导体工厂,从设计之初,最先进的环保性能和可持续运营就一直是优先考虑的事项。它们之所以至关重要,不仅是因为 GF 是一家大型知名企业,拥有众多利益相关者,他们对 GF 的卓越表现寄予厚望,还因为我们的园区毗邻人口稠密的居民区。事实上,我们的许多员工就住在附近的伍德兰茨镇。

使这种性能成为可能的主要设计元素包括:创新的水解决方案,能够实现水的高度循环和再利用;新的减排技术,能够更有效地去除废气中的温室气体;以及用电热泵完全取代燃烧化石燃料的锅炉。

新大楼还可以使用太阳能,这样我们就可以减少电力供应中化石燃料的使用。必要的电缆、配电室、逆变器和其他必要的基础设施都已设计完毕,一旦生产工具全部安装完毕,屋顶的太阳能电池板就会安装到位并连接好。

水的再利用和循环

节水是新加坡关注的一个关键问题,新加坡扩建项目一旦完成,将成为 GF 最节水的工厂。从长远的角度来看,新工厂甚至还具有必要的空间和灵活性,以实现未来水技术的进步,并将这些未来的系统纳入工厂的运营中。

GF 在新加坡的节水之路已经走了十多年,我们将继续减少我们的设施对我国有限水资源的影响。其中一种方法是利用雨水收集系统收集雨水,以便在现场使用。虽然雨水不能饮用,但它适合用于冲厕所和洗地板等工作。

我们还注重废水处理,超越新加坡法规的要求。例如,我们在新加坡工厂采用了新技术和新工艺,消除了新工厂废水中的某些化学物质。这不仅减少了我们对下游水处理系统的潜在影响,而且因为我们是当地社区的一部分,希望成为社区的好邻居。

处理空气以减少温室气体排放

在工厂扩建过程中,我们安装了新一代减排系统,能够更有效地处理生产过程中排放的温室气体。这种最先进的能力使我们的新加坡工厂能够在扩大产能的同时,大幅减少整体排放量,从而实现 GF 的零碳目标。

我们还在建造一个热氧化系统,以处理废气中的挥发性有机化合物 (VOC),将任何 VOC 的浓度降低 90-99.5%,最大限度地减少新扩建工程对周边社区的影响。

电气化和逐步淘汰化石燃料

为了进一步提高新工厂的环保性能,我们尽可能实现电气化。我们正在用电力驱动的热泵取代燃烧化石燃料的锅炉,为生产操作加热用水,并使用本地按需热水器满足其他需求。这不仅消除了排放到空气中的废气,而且更加节能,减少了总体能源需求,并为严格优化我们的热水需求提供了途径。

人的层面

尽管所有这些工作都很重要,但它们也具有超越技术细节的人文内涵。

亚太区环保团队在行业内相对年轻,平均年龄约为 30 岁。在我们看来,我们不仅要建造一座满足当前需求和要求的工厂,还要建造一座面向未来的工厂。这座工厂是为了应对未来的挑战,并在我们的职业生涯结束后继续存在。

因此,我们的挑战,或者说我们的机遇,就是不仅要按照今天的规则,而且要按照我们对未来的愿景来建设这个神话。

HanBin Lim 是 GF 亚太地区的环境经理。他拥有新加坡国立大学化学工程学士学位,同时也是 SEMI 全球循环工作组的负责人。