GLOBALFOUNDRIES Fab 1 温室气体(GHG)披露

GLOBALFOUNDRIES Fab 1
温室气体(GHG)披露

可持续性特征

为低直接温室气体排放而设计。

工厂位于德累斯顿的 1 号工厂是欧洲最大的工厂之一,但它生产的产品 产量却非常低全氟化合物 全氟化合物包括全氟化碳 (PFC)、SF6、NF3氢氟碳化合物(HFCs)。 Fab1 在设计时就考虑到了这些材料的极低排放。 通过通过在化学气相沉积 (CVD) 室清洁中使用低排放气体,以及在使用全氟化合物的过程中几乎普遍使用使用点减排设备,实现了这一目标。 全氟化合物.

低碳能源供应。

Fab1 是 主要由1 号厂房的电力主要来自两座专门设计的高效三联供发电站,以及一小部分来自德累斯顿公共电网的电力。I 号和 II 号能源中心燃烧天然气,为 Fab 1 提供电力,同时为 Fab 2 提供电力。 厂房加热和冷却 主要来自工厂的供热和制冷主要来自于热电联产设备的余热。热电联产比传统的燃煤或天然气发电厂效率高得多。

2022 Fab 1 温室气体排放量(单位:MTCO2-e*) 2022 Fab 1 温室气体排放量(单位:MTCO2-e

温室气体排放总量(范围1和范围2) 339,434
CVD工艺的温室气体排放 PFC 3,423
SF6 0
NF3 2,007
HFC 0
蚀刻原位 工艺的温室气体排放 PFC 12,998
SF6 335
NF3 2,175
HFC 2,651
使用FHTF(氟化传热液体)的温室气体排放 22,246

*使用了IPCC的2B级排放清单计算方法。按照行业标准惯例,当设备的指定销毁效率证明是合理的,即使该设备不消减CF4,也会使用NF3默认销毁效率。