GLOBALFOUNDRIES Fab 1
温室气体(GHG)披露

可持续性特征

为低直接温室气体排放而设计。

位于德累斯顿的 1 号工厂是欧洲最大的工厂之一，但它的全氟化合物（包括全氟化碳 (PFC)、六氟化硫 (SF6)、三氟化氮 (NF3) 和氢氟碳化合物 (HFC)）排放量却非常低。Fab 1 在设计上采用了低排放气体进行化学气相沉积 (CVD) 室清洁，并在使用全氟化合物的过程中几乎普遍使用使用点减排设备，从而实现了这些材料的超低排放。

低碳能源供应。

1 号厂房主要由两座专门设计的高效三联供发电站提供电力，部分电力则来自德累斯顿公共电网。一号和二号能源中心燃烧天然气为一号厂房供电，厂房的供热和制冷则主要来自三联供发电厂的余热。与传统的煤炭或天然气发电厂相比，热电联产的效率要高得多。

2023 Fab 1 温室气体排放量（单位：MTCO2-e*） 2023 Fab 1 温室气体排放量（单位：MTCO2-e

温室气体排放总量（范围1和范围2）		334,826
CVD工艺的温室气体排放	PFC	3,526
	SF6	0
	NF3	1,843
	HFC	0
蚀刻和 原位 工艺的温室气体排放	PFC	11,529
	SF6	233
	NF3	1,488
	HFC	695
使用FHTF（氟化传热液体）的温室气体排放		22,814

*采用 IPCC 2019 Tier 2C 排放清单计算方法。根据行业标准做法，当设备的指定销毁效率证明有必要时，则使用 NF3 默认销毁效率，即使该设备不能减少 CF4。