GLOBALFOUNDRIES Fab 1 工厂温室气体（GHG）披露报告

 

2024年Fab 1工厂温室气体排放量（单位：百万吨二氧化碳当量*）

温室气体排放总量（范围1和范围2）		362,196
CVD工艺的温室气体排放	PFC	3,049
	SF6	0
	NF3	1,678
	HFC	0
蚀刻和 原位 工艺的温室气体排放	PFC	14,788
	SF6	269
	NF3	1,928
	HFC	1,098
使用FHTF（氟化传热液体）的温室气体排放		20,053

*采用 IPCC 2019 Tier 2C 排放清单计算方法。根据行业标准做法，当设备的指定销毁效率证明有必要时，则使用 NF3 默认销毁效率，即使该设备不能减少 CF4。