GLOBALFOUNDRIES Fab 1 Offenlegung von Treibhausgasen (GHG)

Offenlegung von Treibhausgasen (GHG)


Konzipiert für niedrige direkte Treibhausgasemissionen:

Fab 1 in Dresden is one of the largest fabs in Europe, and yet it produces very low levels of perfluorocompound emissions, which include perfluorocarbons (PFCs), SF6, NF3, and hydrofluorocompounds (HFCs). Fab 1 was designed for extremely low emissions of these materials, which is accomplished by utilizing low-emission gases in Chemical Vapor Deposition (CVD) chamber cleaning, coupled with near-universal use of point-of-use abatement equipment for processes using perfluorocompounds.  

Kohlenstoffarme Energieversorgung:

Fab 1 is mainly powered by two specially designed, highly efficient trigeneration plants, along with a small fraction of electricity from the Dresden public grid. Energy Centers I and II burn natural gas to supply Fab 1 with electricity, with fab heating and cooling generated mainly from the trigeneration plants’ waste heat. Trigeneration is much more efficient than conventional coal or natural gas power plants. 

2022 Fab 1 GHG EMISSIONS in MTCO2-e*

Treibhausgasemissionen insgesamt (Scope 1 und Scope 2) 339,434
Treibhausgasemissionen aus CVD-Prozessen PFC 3,423
SF6 0
NF3 2,007
GHG Emissions from Etch and Insitu Processes PFC 12,998
SF6 335
NF3 2,175
HFC 2,651
Treibhausgasemissionen aus der Verwendung von FHTF (fluorierte Wärmeträgerflüssigkeiten) 22,246

*Es wurde die IPCC-Methode zur Berechnung des Emissionsinventars nach Tier 2B verwendet. Gemäß der branchenüblichen Praxis wurde ein Standard-NF3-Zerstörungsgrad verwendet, wenn der angegebene Zerstörungsgrad des Geräts dies rechtfertigte, auch wenn das Gerät CF4 nicht beseitigt.