GLOBALFOUNDRIES Werk 1 Offenlegung von Treibhausgasen (GHG) NACHHALTIGKEITSASPEKTE Konzipiert für niedrige direkte Treibhausgasemissionen: Das Werk 1 in Dresden ist eine der größten Fabriken in Europa, und dennoch produziert sie sehr geringe Mengen an Perfluorverbindungen Emissionen, zu denen Perfluorcarbone (PFC), SF6, NF3und teilhalogenierte Fluorkohlenwasserstoffe (HFCs). Die Fabrik 1 wurde für extrem niedrige Emissionen dieser Stoffe konzipiert, was erreicht Dies wird erreicht durch den Einsatz emissionsarmer Gase bei der Reinigung der CVD-Kammern und durch den nahezu flächendeckenden Einsatz von Anlagen zur Emissionsminderung am Einsatzort für Prozesse, die Perfluor-Verbindungen. Kohlenstoffarme Energieversorgung: Fab 1 ist hauptsächlich mit Strom zwei speziell konzipierte, hocheffiziente Kraft-Wärme-Kopplungsanlagen und zu einem kleinen Teil aus dem öffentlichen Netz in Dresden. In den Energiezentralen I und II wird Erdgas verbrannt, um Fab 1 mit Strom zu versorgen, wobei fab Heizung und Kühlung der Fabrik werden hauptsächlich aus Abwärme der Kraft-Wärme-Kopplungsanlagen erzeugt werden. Die Kraft-Wärme-Kopplung ist wesentlich effizienter als herkömmliche Kohle- oder Erdgaskraftwerke. 2022 Fab 1 THG-EMISSIONEN in MTCO2-e* Treibhausgasemissionen insgesamt (Scope 1 und Scope 2) 339,434 Treibhausgasemissionen aus CVD-Prozessen PFC 3,423 SF6 0 NF3 2,007 HFC 0 Treibhausgasemissionen aus Ätz- und Insitu-Verfahren PFC 12,998 SF6 335 NF3 2,175 HFC 2,651 Treibhausgasemissionen aus der Verwendung von FHTF (fluorierte Wärmeträgerflüssigkeiten) 22,246 *Es wurde die IPCC-Methode zur Berechnung des Emissionsinventars nach Tier 2B verwendet. Gemäß der branchenüblichen Praxis wurde ein Standard-NF3-Zerstörungsgrad verwendet, wenn der angegebene Zerstörungsgrad des Geräts dies rechtfertigte, auch wenn das Gerät CF4 nicht beseitigt.
