GLOBALFOUNDRIES Werk 1 Offenlegung von Treibhausgasen (GHG) NACHHALTIGKEITSASPEKTE Konzipiert für niedrige direkte Treibhausgasemissionen: Fab 1 in Dresden ist eine der größten Fabriken in Europa und erzeugt dennoch nur sehr geringe Emissionen von Perfluorverbindungen, zu denen Perfluorkohlenwasserstoffe (PFC), SF6, NF3 und teilhalogenierte Fluorkohlenwasserstoffe (HFC) gehören. Fab 1 wurde für extrem niedrige Emissionen dieser Stoffe konzipiert, was durch die Verwendung emissionsarmer Gase bei der Reinigung der CVD-Kammern und den nahezu flächendeckenden Einsatz von Anlagen zur Emissionsminderung am Einsatzort für Prozesse mit Perfluorverbindungen erreicht wird. Kohlenstoffarme Energieversorgung: Fab 1 wird hauptsächlich durch zwei speziell konzipierte, hocheffiziente Kraft-Wärme-Kopplungsanlagen sowie durch einen Teil des Stroms aus dem öffentlichen Netz in Dresden versorgt. In den Energiezentralen I und II wird Erdgas verbrannt, um Fab 1 mit Strom zu versorgen, wobei die Heizung und Kühlung der Fab hauptsächlich aus der Abwärme der Kraft-Wärme-Kopplungsanlagen erzeugt wird. Die Kraft-Wärme-Kopplung ist wesentlich effizienter als herkömmliche Kohle- oder Erdgaskraftwerke. 2023 Fab 1 THG-EMISSIONEN in MTCO2-e* Treibhausgasemissionen insgesamt (Scope 1 und Scope 2) 334,826 Treibhausgasemissionen aus CVD-Prozessen PFC 3,526 SF6 0 NF3 1,843 HFC 0 Treibhausgasemissionen aus Ätz- und Insitu-Verfahren PFC 11,529 SF6 233 NF3 1,488 HFC 695 Treibhausgasemissionen aus der Verwendung von FHTF (fluorierte Wärmeträgerflüssigkeiten) 22,814 *Es wurde die IPCC 2019 Tier 2C-Methode zur Berechnung des Emissionsinventars verwendet. Gemäß der branchenüblichen Praxis wurde eine NF3-Standardzerstörungseffizienz verwendet, wenn die angegebene Zerstörungseffizienz des Geräts dies rechtfertigte, selbst wenn das Gerät kein CF4 abbaut.
