GlobalFoundries Fab 7温室气体（F-GHG）披露 2023 Fab 7 F-GHG 排放量（单位：MTCO2-e*） 2023 Fab 7 F-GHG 排放量（单位：MTCO2-e 温室气体排放总量（范围1和范围2） 613,473 NF3远程等离子体清洁工艺的温室气体排放 PFC 2,515 SF6 0 NF3 2,629 HFC 0 蚀刻和原位工艺的温室气体排放 PFC 152,523 SF6 18,751 NF3 93,411 HFC 25,660 使用FHTF（氟化传热液体）的温室气体排放 4,480 *采用 IPCC 第 2B 级（2019 年）排放清单计算方法。根据行业标准做法，当设备的指定销毁效率证明有必要时，则使用 NF3 默认销毁效率，即使该设备不能减少 CF4。
