GlobalFoundries Fab 7温室气体（F-GHG）披露 2021 Fab 7 F-温室气体排放（MTCO2-e*）。 温室气体排放总量（范围1和范围2） 667,770 NF3远程等离子体清洁工艺的温室气体排放 PFC 12,719 SF6 0 NF3 8,881 HFC 0 蚀刻和原位工艺的温室气体排放 PFC 194,520 SF6 11,467 NF3 131,005 HFC 20,414 使用FHTF（氟化传热液体）的温室气体排放 12,602 *使用了IPCC Tier 2A (2006)排放清单计算方法。按照行业标准惯例，当设备的指定销毁效率证明是合理的，即使该设备不消减CF4，也会使用NF3默认销毁效率。
