格罗方德Fab 7工厂温室气体(F-GHG)披露 2024年Fab 7工厂温室气体排放量（单位：百万吨二氧化碳当量*） 温室气体排放总量（范围1和范围2）606,838 NF3远程等离子体清洁工艺的温室气体排放 PFC2,694SF60NF32,817HFC0 蚀刻和原位工艺的温室气体排放 PFC166,977SF620,374NF398,719HFC44,496使用FHTF（氟化传热液体）的温室气体排放15,181 *采用 IPCC 第 2B 级（2019 年）排放清单计算方法。根据行业标准做法，当设备的指定销毁效率证明有必要时，则使用 NF3 默认销毁效率，即使该设备不能减少 CF4。
